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阻礙柔性O(shè)LED顯示實(shí)用化的關(guān)鍵問題主要在于空氣中的水氧對(duì)其產(chǎn)生致命的威脅。研究團(tuán)隊(duì)自2008年以來在薄膜包覆領(lǐng)域開展研究，利用薄膜形成阻隔水氧進(jìn)入器件的阻隔。這種方法使OLED器件更輕薄，壽命更長(zhǎng)，機(jī)械性能更優(yōu)異，是OLED器件封裝未來的發(fā)展方向。我們利用原子層沉積制備了Al2O3薄膜封裝層。通過研究發(fā)現(xiàn)，以臭氧為前驅(qū)體制備的Al2O3薄膜的性能要比用水作為前驅(qū)體并且在低溫條件下制備的薄膜更為優(yōu)越，對(duì)于60nm的Al2O3薄膜，利用水制備的薄膜的水汽透過率（4.9×10-4g/m2day）遠(yuǎn)高于利用臭氧制備的薄膜的水汽透過率（8.7×10-6g/m2day，測(cè)試條件：溫度20℃，濕度60%），OLED壽命從而有了顯著提高。我們的方法比采用傳統(tǒng)方法的封裝薄膜性能提高近56倍，該結(jié)果在2020年完成了鑒定，為國內(nèi)有報(bào)道的最高水平。